포항가속기연구소

다목적 방사광 가속기: 극자외선 기술의 혁신과 산업에 미치는 영향

[su_heading size="27" align="left" margin="40"]초미세 반도체 기술의 새 장을 여는 극자외선(EUV) 노광[/su_heading] 2019년, 7nm급 이하 초미세 반도체 제조를 위한 극자외선(EUV) 노광…

1년 ago