극자외선

2019년, 7nm급 이하 초미세 반도체 제조를 위한 극자외선(EUV) 노광 기술이 양산 공정에 도입되었습니다. 네덜란드의 ASML사가 공급하는 EUV 노광용 스캐너는 반도체…