다목적 방사광 가속기: 극자외선 기술의 혁신과 산업에 미치는 영향
2019년, 7nm급 이하 초미세 반도체 제조를 위한 극자외선(EUV) 노광 기술이 양산 공정에 도입되었습니다. 네덜란드의 ASML사가 공급하는 EUV 노광용 스캐너는 반도체 산업에 새로운 가능성을 열었으나, 마스크 검사 및 웨이퍼 검사를 위한 전용 시설은 수요를 충족시키지 못하는 상황이었습니다. 이러한 기술적 공백은 국내 기술 개발의 필요성을 더욱 부각시켰습니다. 이러한 배경 속에서 포항가속기연구소는 과학기술정보통신부의 지원을 받아 EUV 방사광 가속기(PAL-EUV)를 … 더 읽기